臭氧發生器預氧化可以破壞水中的部分三鹵甲烷前驅物質，其機理主要是臭氧能選擇性地破壞某些前體物分子中的活性點。當水中的重碳酸鹽含量較高時，臭氧預氧化對THMFP的降低幅度相剝較大，反之則降幅較小。這是因為在有自由基捕獲劑(重碳酸鹽)存在的條件下，臭氧分子對三鹵甲烷前體物的氧化破壞具有選擇性，因而降低r后續氯化消毒過程中副產物的生成量。
臭氧氧化能有效降低三氯乙酸、二氯乙腈等難揮發性鹵代有機物的生成勢，但是對二氯乙酸的生成勢卻沒有任何影響，而三氯乙酮的生成勢則有所升高。臭氧預氧化也會使水中三氯硝基甲烷的生成勢有所升高，這可能是由于臭氧將水中的胺氧化成一些含氮有機物，從而在后續氯化消毒過程中生成了三氯硝基甲烷。當水中含有溴離子時，臭氧預氧化就有可能使水中溴代三鹵甲烷的濃度升高。 有試驗表明，預臭氧氧化和混凝沉淀對THMFP有一定的去除作用，在0．75 mgO、／DOC(DOC基本為2 mg／L左右)的預臭氧投加量下，兩次試驗的去除率分別為12，1％和11．2％，相差不大，去除率也不算高；而對HAAFP的去除率僅為10．1％。對兩者的去除率都低于高錳酸鹽單獨氧化的。 鑒于單獨臭氧預氧化對三鹵甲烷和鹵乙酸生成勢的去除率較低，阻及會導致某些剮產物的濃度升高，開展了投加高錳酸鹽強化臭氧氧化(復合預氧化)的研究。