臭氧被稱為綠色環保元素，因為在殺菌、消毒的過程中，臭氧還可自行還原成為氧和水，沒有任何殘留和二次污染，因此已被廣泛應用到水處理、食品加工、制藥行業、餐飲業、果蔬保鮮等眾多領域。
　　隨著衛生安全制度的完善和人們健康意識的增強，臭氧發生器技術在食品工業中的應用亦日趨成熟和廣泛，主要有：
　　一、加工車間（庫）與加工設備的消毒滅菌
　　臭氧氣體用于食品加工車間、貯藏室與加工設備消毒是非常方便、有效的。傳統的消毒方法是化學試劑熏蒸和紫外燈照射，上述方法分別存在污染大、有殘留和照射不徹底、有死角等弊病。而以臭氧殺菌，具有無死角、高效、快速的特點，大大抑制了加工環境中的大腸桿菌群小球菌和酵母菌的生長，顯著改善了生產車間的衛生質量。按照衛生部消毒技術規范的要求，用臭氧氣體對醫院空氣消毒的臭氧濃度是10ppm，即20mg/m3，作用30min，對自然菌的殺滅達到90%以上。
　　二、物品的表面消毒滅菌
　　在食品生產過程中，常常要對原材料、工具器材、包裝物、生產場所等進行物體表面消毒。傳統的方法是紫外線消毒，但存在消毒不徹底、衰竭快、存在死角等弊端。按照衛生部消毒技術規范的要求，用臭氧氣體對物品表面上污染的微生物的殺滅，一般要求30ppm，即60mg/m3，相對濕度≥70%，作用60min~120min可達到消毒效果。
　　三、水的消毒滅菌
　　食品廠用水有原料用水、消毒用水、清洗用水及飲用水等。采用臭氧消毒工藝，對自來水、地下水、純凈水等水中的大腸桿菌、金黃色葡萄球菌等微生物的殺滅率可達到99.99%以上，同時去除水中的異味和改善濁度，無殘留物，效果顯著。
　　四、食品設備、容器、工具、生產過程的消毒滅菌
　　在飲料、果汁等生產過程中，臭氧水可用于管路、生產設備及盛裝容器的浸泡和沖洗，從而達到消毒滅菌的目的。在蔬菜加工的應用，如傳統的小包裝榨菜、蘿卜和小黃瓜等食品加工中，可延長產品的保質期，改善產品的色澤和質地等。