臭氧是一種良好的殺菌消毒劑，可有效提高食品、藥品、化妝品等產品的安全質量，改善室內空氣衛生狀況。而且，臭氧殺菌效果不受酸堿環境的影響，適用性非常廣泛。
1.臭氧殺菌原理
?臭氧分子由三個氧原子組成，在常溫常壓下為無色氣體，它是淡藍色的具有強烈刺激性的氣體。臭氧極不穩定，分解時放出新生態氧[O].新生態氧具有極強的氧化能力，對抵抗力頑強的微生物如病毒、芽子孢等，具有強大的殺傷力。臭氧能氧化有機物，去除水中的色、味，還可去除水中溶解性的鐵、錳鹽類及酚等。
2.臭氧殺菌系統
?臭氧是空氣中的氧通過高壓放電產生的，制造臭氧的空氣必須先行凈化和干燥，以提高臭氧發生器效率并減少腐蝕。臭氧發生系統的前部為空氣凈化和干燥裝置，以后為臭氧發生器。其系統布置為：空氣壓縮機將空氣送至冷卻器，然后再經過濾加以凈化，再經過1~2級硅膠或分子篩干燥器，將空氣干燥至露點（-50℃）以下，最后經臭氧發生器，通過15000~17000V高壓電，在空氣中放電后產生臭氧。
?現場用空氣或氧氣為原料制備的臭氧的濃度在2%~10%之間。臭氧具有高腐蝕性能，通常橡膠、大多數塑料、普通鋼鐵、銅以及鋁等材料都不能用于臭氧系統。可用的材料主要包括316和305不銹鋼、玻璃、氯磺烯化聚乙烯合成橡膠、聚四氟乙烯以及混凝土。
3.臭氧消毒的特點
1）由于臭氧比氯有較高的氧化電位，比氯消毒具有更強的殺菌作用，對細菌的作用比氯快，消耗量明顯較小，例如，在0.45mg/L臭氧作用下，經過2min后脊髓灰質炎病毒死亡，如果用氯消毒，則劑量為2mg/L時需經過3h。
2）在很大程度上，臭氧殺菌不受酸堿環境的影響，適合在酸性和堿性環境中使用，拓寬了其應用范圍。
3）在某些特定的用水中，如食品加工、飲料生產以及微電子工業等，臭氧消毒不需要從已凈化的水中去除過剩殺菌劑的附加工序，如用氯消毒時的脫氯工序。
4）不會產生象氯酚那樣的臭味。
5）不會產生三鹵甲烷等氯消毒的副產物。